產品特點:

紅外鹵素燈管加熱 ，冷卻采用風冷

燈管功率 PID 控溫,可精準控制溫度升溫 ，保證良好的重現性與溫度均勻性

大氣與真空處理方式均可選擇，進氣前氣體凈化處理

標配兩組工藝氣體，最多可擴展至 6 組工藝氣

采用平行氣路進氣方式，氣體的進入口設置在 Wafer 表面，避免退火過程中冷點產生，保證產品良好 的溫度均勻性

技術參數：

最大產品尺寸最大處理 200×200mm，兼容8寸，及8寸以下wafe

腔體數量：單腔

腔體溫度監控：＜70℃

溫度范圍：室溫~1250℃

溫度控制重復性：±2℃

恒溫持續時間：可依據要求編程

控溫區域：多組控溫區域，保證恒溫區溫度穩定性

抽氣速率：500SLM

漏率：30mTorr/min

SCR 控溫區域:16 組控溫區

降溫速度:約 200℃/min(1000~400℃) 不可編程

持溫時間:可依據制程需求設定持溫時間

燈管電流精度:≤±0.1amp

燈管:平均 1500 小時以上使用壽命，上下兩面同時加熱