臭氧發生器低溫氧化脫硝技術的原理主要是利用臭氧氧化過程中的氧化和吸收反應。氧化反應主要是利用臭氧的強氧化性，將不溶性低濃度氮氧化物氧化成可溶性高濃度氮氧化物，然后在洗滌塔中吸收達到去除的目的。在不同濃度和比例的NOx等污染物下，脫硝系統可以同時有效去除煙氣中的NOx、二氧化硫和顆粒物，不影響其他污染物的控制技術，是傳統脫硝技術的有效補充或替代技術。

“十一五”以來，在國家相關科技計劃的支持下，我國在臭氧發生器放電結構和放電介質的設計、大功率變頻諧振電源和臭氧發生器參數的研究、模塊化結構和放電管的設計、冷卻系統、檢測系統和PLC控制系統的研究、臭氧發生系統的可靠性分析等方面取得了很大進展，大大提高了大型臭氧發生器的生產效率，降低了生產成本。降低生產成本，延長產品使用壽命，提高產品質量，降低生產成本，降低產品成本，大大提高產品質量，大大降低產品價格，大大提高產品經濟效益。

臭氧發生器低溫氧化脫硝技術工藝系統結構簡單，在原有脫硫塔的基礎上進行改造，同時實現脫硫脫硝；脫硝效率高（高達90%以上）；根據煙氣中氮氧化物的實時監測，可以準確地控制氧化劑（臭氧）的用量，使系統的運行效率不受鍋爐運行狀態的影響；系統運行溫度低，可實現低溫脫硝處理；系統的運行效率不會隨著脫硝系統停機維護時間的增加而降低，大大減少了脫硝系統的停機維護時間；臭氧的氧化能力也可以實現對煙氣中其他有害成分（如汞）的氧化去除，滿足未來日益嚴格的環境要求。