由于水冷式氧源臭氧發生器是一種非常專注的設備，在正常使用過程中，定期的小保養可以有效延長設備的使用壽命，可以注意以下幾點：

（1）通過操作控制柜的顯示屏，定期檢查系統各節點的壓力和流量值是否在允許范圍內，如有異常，應查明原因并及時處理。

（2）定期向空壓機和壓力罐排放廢水。保持入口干燥。

（3）監測臭氧接觸池壓力是否為負。嚴禁倒水；

（4）定期檢查廢氣銷毀裝置的加熱系統；

（5）及時清洗或更換空氣濾芯；

（6）定期檢查監測儀器的準確性，及時更換相關設備。

水冷式氧源臭氧發生器工作時會產生大量的熱能，需要一定的冷卻時間，否則臭氧會隨著溫度的升高而分解。水冷發電機冷卻效果好，運行穩定，無臭氧衰減，可長時間連續工作，但結構復雜，成本略高。風冷冷卻效果差，臭氧衰減明顯。高性能臭氧發生器整體性能穩定，一般采用水冷。風冷一般只用于臭氧產生量較少的中、低檔臭氧發生器。在選擇發電機時，應盡可能選擇水冷發電機。氧氣類型通常由氧氣瓶或氧氣發生器提供。清潔干燥的壓縮空氣通常用作空氣型材的原料。因為臭氧是由氧氣產生的，所以空氣中的氧氣含量只有21%，所以空氣中的臭氧濃度相對較低，而瓶裝或制氧機的氧氣純度在90%以上，所以制氧機的臭氧濃度較高。