在化學工業、石油工業、造紙工業、紡織工業、醫藥工業和香料工業中，水處理用臭氧發生器消毒技術被用作氧化劑、催化劑和精煉劑。臭氧氣體的強氧化性很容易破壞烯烴和炔烴的碳鏈鍵，使其部分氧化合成新化合物。從生物和化學污染氣體的凈化，毛皮、內衣、漁場、橡膠和化工廠的污染氣體可以通過臭氧去除。在藥物合成過程中，臭氧會起到催化作用，氧化分解藥物殘留。臭氧因其滅菌能力強、無殘留污染而被廣泛應用于食品工業的消毒、除臭、防霉和保鮮。1997年4月，美國食品和藥物管理局（FDA）修訂了一直限制臭氧作為“食品添加劑”的法規，允許其在不應用的情況下用于食品加工和儲存。這對提高食品加工技術水平和食品質量具有重要意義。

水處理用臭氧發生器消毒技術是一種氣體滅菌劑，依靠氧化作用產生強大的殺滅病毒、細菌、霉菌等微生物的效果。臭氧和其他消毒劑一樣，有一定的生理反應，甚至對動物和人類有危害，但比普通消毒劑少很多，保護環境也簡單很多。聞到臭氧的特殊氣味。“刺激”是指呼吸道有粘性和反應性，感覺口干、咳嗽、喉嚨痛、疲勞等。需要幾個小時才能恢復。到目前為止，世界上還沒有因臭氧中毒導致的死亡事故。臭氧作為消毒劑具有滅菌能力強、自分解、無殘留污染、接觸后非常迅速地離開現場無不適等諸多優點，是甲醛（福爾馬林）、過氧乙酸、高錳酸鉀鉀等常用消毒劑所不具備的。正確使用臭氧需要科學的態度，以確保健康不受損害。