臭氧有很強的氧化能力，可以氧化多種化合物。在水處理中得到了廣泛的應用。臭氧化技術不僅具有良好的快速滅菌消毒性能，而且具有很高的氧化有機物和無機物的氧化能力，可以去除其它水處理技術中難以去除的物質。臭氧反應快，可減少結構體積。臭氧過多可迅速轉化為氧，增加水中溶解氧，效率高，無污泥，無二次污染，綠色環保。在提高凈化效果、滅菌消毒的同時，還能去除臭味和異味。一體式水廠設備臭氧發生器制備臭氧的電氣和空氣不需要儲存和運輸，占地面積小，操作管理簡單，特別適合改善原水廠的水質和水量。

由于一體式水廠設備臭氧發生器產生的臭氧具有氧化性強、滅菌消毒能力強、除臭除異味功能難以替代的特點，多數情況下，廢水深度處理需要臭氧技術，以達到更好的處理效果。廢水深度處理時，臭氧可用于去除化學需氧量和生化需氧量，破壞有害化學物質。臭氧及其產生的活性OH自由基破壞污水中發色基團的不飽和鍵，產生小分子酸醛，產生低分子有機物，大大降低水體的色度。廢水中存在的金屬離子可氧化成不溶于水的化合物沉淀，有利于絮凝，改善沉淀效果，有效控制有機微生物，使循環水中的化學需氧量和二氧化碳（可吸收有機鹵化物）的數量控制在非常低的水平，達到水質比較好的目的。