國產水處理臭氧發生器常用的原料氣體有空氣和氧氣，它利用高速電子轟擊氣體，分解為氧原子。高速電子有足夠的動能（6~7eV），然后通過三體碰撞反應形成臭氧。目前臭氧已廣泛應用于飲用水處理、污水處理、化工氧化、紙漿漂白、食品加工、醫療和家庭等多個領域。我國近年來臭氧應用發展迅速的是自來水廠、制藥工業和食品加工業。

臭氧的高氧化還原電位決定了臭氧在氧化、脫色、除臭等層面的廣泛運用。有研究指出，臭氧在水中溶解，幾乎可以殺死對人體有害物質，如鐵、錳、鉻、硫酸鹽、酚、苯、氧化物等，還可以分解有機物和藻類。臭氧不僅滅菌作用明顯，還可以去除水中的顏色、異味、鐵和錳等一般化學物質，而且用量少、接觸時間短，能克服氯處理水中殘留有致癌鹵代物的問題。另外，臭氧可以增加水中的溶解氧，有利于后繼生物活性炭上好氧微生物的生長；減少出廠水的加氯量等，因此國產水處理臭氧發生器被越來越廣泛地應用。

臭氧是廣譜、效率高的消毒劑，具有很強的消毒滅菌作用。常溫常壓下，臭氧分子結構不穩定，可自行分解為氧（O2）和單氧原子（O）。后者活性強，對細菌有很強的氧化作用，臭氧對細菌中的葡萄糖進行氧化分解，破壞細胞膜，殺死細菌。剩余氧氣原理自動與氧氣分子（O）結合，沒有任何有毒殘留物，因此用戶不用擔心二次污染的問題。

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