水處理臭氧發生器氧化反應產生的臭氧是一種高活性氣體，它是由氧氣放電形成的，分子式為O3，是氧的同素異形體。臭氧明顯的特征就是有很強的氣味，它的英文詞OZONE，源自希臘語。臭氧是一種淡藍色氣體，在常溫、常壓下有強烈的刺激氣味。

臭氧具有較高的氧化電位（2.076V），比氯（1.36V）高出50%以上，因此其氧化能力比氯強。從表面看，臭氧的形成是一種吸熱過程，臭氧分子很不穩定，可以自行分解，而在整個分解過程中伴隨著能量的釋放，因此，臭氧的氧化活性比氧高。

臭氧的消毒原理可視為一種氧化反應，具體的細菌滅活機制為：臭氧可以與細菌細胞壁脂質發生雙鍵反應，穿透細菌體內，作用于蛋白質和脂多糖，改變細胞通透性，從而導致細菌死亡。在細胞內，臭氧也會作用于核物質，如核酸中的嘌呤和嘧啶，破壞DNA。在病毒感染中，臭氧的作用首先表現為病毒殼蛋白的四個肽鏈，從而破壞RNA，尤其是形成該RNA的蛋白質。通過電鏡觀察，發現噬菌體在臭氧氧化后表皮被粉碎成許多碎片，其中釋放出大量的核糖核酸，干擾了對寄存體的吸附，因此，水處理臭氧發生器氧化反應的消毒滅菌效果是非常明顯有效的。

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