污水消毒處理臭氧發生器用臭氧氧化法處理廢水所使用的是含低濃度臭氧的空氣或氧氣。臭氧是一種不穩定、易分解的強氧化劑，因此要現場制造。臭氧氧化法水處理的工藝設施主要由臭氧發生器和氣水接觸設備組成。大規模生產臭氧的是無聲放電法。制造臭氧的原料氣是空氣或氧氣。原料氣必須經過除油、除濕、除塵等凈化處理，否則會影響臭氧產率和設備的正常使用。用空氣制成臭氧的濃度一般為10～20毫克/升；用氧氣制成臭氧的濃度為20～40毫克/升。這種含有1～4%(重量比)臭氧的空氣或氧氣就是水處理時所使用的臭氧化氣。臭氧發生器所產生的臭氧，通過氣水接觸設備擴散于待處理水中，通常是采用微孔擴散器、鼓泡塔或噴射器、渦輪混合器等。臭氧的利用率要力求達到90%以上，剩余臭氧隨尾氣外排，為避免污染空氣，尾氣可用活性炭或霍加拉劑催化分解，也可用催化燃燒法使臭氧分解。

主要由兩個部分組成：一部分是一個包含有放電體的容器，通常被稱為臭氧放電室；另一部分是一套為臭氧放電室提供高壓電源的電源系統，通常被稱為臭氧電源或供電單元（PSU）。大型臭氧發生器使用水冷卻，應根據現場所能提供的冷卻水條件，包括水量、水溫、水質指標等，設計水冷卻裝置。

污水消毒處理臭氧發生器飲用水處理方面，臭氧主要有三種方式得以應用:①臭氧作為飲用水的消毒劑，臭氧消毒后還需要在管網前端投加定的余氯以維持管網系統的水質穩定。②在混凝沉淀池前投加臭氧，作為給水處理的預處理，作用是氧化鐵、錳等離子，去除色度和臭味，改善絮凝和過濾效果，取代加氯，有效減少鹵代烴消毒副產物的生成。③在飲用水的深度處理方面，臭氧常與顆粒活性炭組成臭氧生物活性炭工藝，通過臭氧氧化、活性炭吸附和微生物降解等多重作用，有效提升出水水質。在污水處理方面，臭氧與多種技術結合已經得到了較為廣泛的應用，如臭氧紫外線、臭氧過氧化氫、臭氧催化氧化等。