MICHELL針對半導體和高純氣領域濕度異動的解決方案

密析爾儀表公司很高興宣布推出自己的微量水分異動傳感器-Pura Plus。 Pura Plus 是一款在線的微量水分異動傳感器，專為半導體晶圓廠的高純惰性氣體而設計； 適合多點安裝在氣路進入制程工具前的Z末端。 Pura Plus 安裝的管網上，可以快速的（小于一分鐘）偵測出在1 ppb 基準上低至20ppb 的濕度異動。

為了同時保證達到高靈敏度和快速反應的要求，密析爾創造了一種*的偵測算法，并輔以全新的適合高純氣的陶瓷傳感器設計。除此以外，Pura Plus 還可以滿足半導體行業的特殊的包裝要求，Pura Plus達到了材質和表面處理的Z高標準， 整個裝配和包裝都是在100 級的潔凈室完成。在包裝前，密析爾還要在10-9 bar / 秒的條件下對Pura Plus進行密封性測試，以達到在兩年內免維護和正常工作的設計要求。信號通過MODBUS輸出，以LED交通燈的形式顯示警告和報警狀態。將來還將具有4-20mA輸出。

這款新的傳感器是密析爾儀表針對晶圓工業在尺寸和規格方面需求的相應。晶圓廠不斷地在推動技術以達到在元件尺寸和封裝上的要求。新的更大尺寸的晶圓具有更昂貴的單位價值，使得晶圓廠不斷提高產出，減少由于污染而導致的殘品率。當前規定大宗散裝惰性氣（N2，Ar）的潮氣污染水平要小于10 ppb， 而趨勢是要降低至1ppb以下。

通常，在大宗散裝氣體進入FAB前的Z末端，通過安裝大型而復雜的儀器來監測濕度污染，存在著價格昂貴而且反應速度慢的問題， 而大宗氣體的濕度污染是不常發生的； 與此相反，在FAB的內部，由許多的分管，節點，和使用點而構成的管網，即傳統的濕度監測點的下游，潮氣進入卻是經常發生的，造成的原因可能是微小的泄漏，系統設計缺陷，元件損壞，或者流程上的失敗。Pura Plus 的小巧尺寸和創新概念使得在多個使用點的安裝成為可行，成為保護晶圓制造流程的一個投入少，見效快的手段。

英國MICHELL擁有冷鏡式、陶瓷氧化鋁等濕度傳感器。英國密析爾（MICHELL）儀表為Z大的濕度露點儀表生產廠家，在歐洲濕度檢測領域有過半的*，擁有超過35年的專業技術，開發一整套變送器、露點儀、校驗系統等產品，歐盟/美國國家標準實驗室全都是使用MICHELL產品作為標準儀器。