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詳細介紹
日本昭和SSC超精密加工機用隔震臺AT規格
- ?固有振動數：約3.0Hz
- ?高減衰：共振倍率約3倍
- ?高耐久性
- ?付內部過浮上防止機構
- ?付自動水平調整器
- ?付減衰機構
- ?可依據機臺規格客制化
- ?半導體檢查機臺
- ?液晶檢查機臺
- ?LaserRepair機臺
- ?Inspection機臺
- ?SEM、TEM
- ?超精密加工機
- ?光學機臺
日本昭和SSC超精密加工機用隔震臺AT規格
| 型 式 | AT-120 | AT-250 | AT-415 | AT-615 | AT-855 |
|---|---|---|---|---|---|
| 規格：A×B (E)mm | 230×230(233) | 230×230(260) | 330×330(340) | 360×360(370) | 420×420(460) |
| 規格： C×Dmm | 210×210 | 210×210 | 300×300 | 330×330 | 390×390 |
| 規格： Hmm | 148 | 148 | 170 | 170 | 170 |
| 質 量 (kg/個) | 7.5kg | 7kg | 15kg | 18kg | 20kg |
| 搭載可能重量(kg/個) | 450kg | 1000kg | 1,500kg | 2,400kg | 3,000kg |
| 固有振動數 | 水平?垂直：約3.0Hz | ||||
| 水平方法 | 使用自動水平調整器來維持水平 | ||||
| 供給空氣源(MPa) | 0.4～0.6 | ||||
| 附屬品 | 氣壓調節閥(1個)、φ6塑膠管(10m)、T型連結管(2個) | ||||
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