華中科技大學聯合武漢頤光科技科技有限公司開發的“高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏測量關鍵技術與納米測量應用”項目榮獲湖北省技術發明一等獎。此獎項由省人民政府設立，經省科學技術獎勵評審委員會評審、省科學技術獎勵委員會審議，湖北省人民政府決定后終授予，旨在深入實施創新驅動發展戰略，建設創新強省，獎勵為省科技事業進步、經濟社會發展作出突出貢獻的科學技術人員和組織。
穆勒矩陣橢偏儀廣泛應用于IC制造、平板顯示、光電子器件、光伏太陽能、柔性電子等國家新興戰略產業中的納米材料、納米結構與納米器件的基礎科學研究、制造工藝優化、量產在線監測等諸多環節，在*具有戰略意義。
“高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏測量關鍵技術與納米測量應用”項目所研發的穆勒矩陣橢偏儀代表了橢偏儀技術的高水平，其研制過程主要面臨寬光譜全穆勒矩陣偏振調制技術、穆勒矩陣橢偏測量系統參數精密校準與誤差修正技術、復雜納米結構薄膜橢偏測量理論與方法三個方面的技術挑戰，由華中科技大學與武漢頤光科技有限公司歷時10余年攻克技術難關，在*國家重大科學儀器設備開發專項、國家863計劃、國家自然科學基金等多個*項目支持下，通過原理創新，成功研制出我國*臺具有*自主知識產權的高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏儀，實現了成果轉化與產業化。
3
立即詢價
您提交后，專屬客服將第一時間為您服務