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一、產品特點
■ 采用氘燈和鹵素燈復合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)；
■ 可實現穆勒矩陣數據處理，測量信息量更大，測量速度快、數據更加精準；
■ 基于雙旋轉補償器配置，可一次測量獲得全穆勒矩陣的16個元素，相對傳統光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面測量信息；
■ 頤光技術確保在寬光譜范圍內，提供優質穩定的各波段光譜；
■ 數百種材料數據庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料；
■ 集成對納米光柵的分析，可同時測量分析納米結構周期、線寬、線高、側壁角、粗糙度等幾何形貌信息；
二、技術規格
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