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紅外橢偏儀
  • 紅外橢偏儀
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貨物所在地:湖北武漢市

產(chǎn)地: 武漢市東湖高新區(qū)華工科技園創(chuàng)智

更新時(shí)間:2025-06-02 21:00:07

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SE-i紅外橢偏儀針對(duì)有機(jī)/無(wú)機(jī)鍍膜工藝研究的需要開(kāi)發(fā)的原位薄膜在線(xiàn)監(jiān)測(cè)中的定制化開(kāi)發(fā),可通過(guò)橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量,橢偏測(cè)量頭快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。

一、概述

SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀,針對(duì)有機(jī)/無(wú)機(jī)鍍膜工藝研究的需要開(kāi)發(fā)的原位薄膜在線(xiàn)監(jiān)測(cè)中的定制化開(kāi)發(fā),快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。

 

SE-i光譜橢偏儀介紹1.png

 

二、測(cè)試案例

 

SE-i光譜橢偏儀介紹2.png

 

成膜工藝監(jiān)控

 

SE-i光譜橢偏儀介紹3.png

 

膜厚表征

SE-i光譜橢偏儀介紹4.png


三、產(chǎn)品應(yīng)用

光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無(wú)機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積,ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過(guò)程中實(shí)際原位在線(xiàn)監(jiān)測(cè)并實(shí)時(shí)反饋測(cè)量物性數(shù)據(jù)。

四、技術(shù)參數(shù)

 

SE-i光譜橢偏儀介紹5.png

頤光科技注冊(cè)于武漢東湖國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū),立足光谷,面向,為用戶(hù)提供光學(xué)散射測(cè)量?jī)x等系列產(chǎn)品,并提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體、光伏太陽(yáng)能、平板顯示、LED照明、存儲(chǔ)、生物、醫(yī)藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜和保護(hù)膜、減反膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。

 

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