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技術(shù)文章

我司銷售的近正常光譜反射儀(HO-NNSR-02)

閱讀:168          發(fā)布時(shí)間:2024-12-3

近正常光譜反射儀是用于工業(yè)和研究領(lǐng)域薄膜厚度分析的基本儀器。Holmarc 的 NNSR(型號(hào):HO-NNSR-02)能夠高速、高重復(fù)性地分析薄膜

厚度、復(fù)折射率和表面粗糙度。NNSR 理論采用菲涅爾方程的復(fù)雜矩陣形式。絕對(duì)反射光譜是反射儀的原理,即反射光束(通常為多色)的強(qiáng)度與

入射光束強(qiáng)度的比值。通常入射到樣品表面的光束會(huì)從薄膜的頂部和底部反射出來(lái),這些光束會(huì)受到干擾,并通過(guò)光纖(雙纖光纖)經(jīng)計(jì)算機(jī)傳導(dǎo)

到連接光譜儀的 CCD 上。在監(jiān)視器上,我們可以看到與薄膜厚度成正比的干涉振蕩光譜圖。

                                                                                           規(guī)格


薄膜厚度范圍:25 納米 - 3.5 微米

    FFT 厚度范圍:3500 納米 - 35 微米

    光譜儀波長(zhǎng)范圍:340 納米 - 940 納米

    反射波長(zhǎng)范圍:390 納米 - 940 納米

    光源:鹵鎢燈石英燈,20 和 50 瓦(定制)

    探測(cè)器:CCD 線性陣列,3648 像素

    傳輸方式:雙纖(玻璃芯和 PMMA 包層]

    薄膜疊層精度:± < 1 nm

    同一疊層的精度:± < 2 nm(無(wú)粗糙度)(與 SEM 比較)

    樣品上的光斑尺寸:120 微米(使用 5 倍 SLWPA 物鏡

    工作距離:3 毫米

    光纖:帶 SMA 的多模雙芯光纖

    掃描:手動(dòng)(千分尺控制 15 毫米掃描)

    參考樣品:裸 NSF66 / 裸鋁(定制) / 普通玻片

    深色樣品:N-Bk7 黑色涂層/保持 45° 的鋁鏡(定制)

    標(biāo)準(zhǔn)樣品:NSF-66 基底上的 SiO2 薄膜 / Bk7 基底

    測(cè)量模式 :    曲線擬合/回歸算法、FFT、FFT + 曲線擬合

    分散公式:Cauchy、Sellmeier 和經(jīng)驗(yàn)?zāi)P?/span>

    EMA 模型:線性 EMA、Bruggemann、Maxwell Garnett 模型

    PC 接口:USB


特點(diǎn)


    分析單層和多層薄膜(間接法)


    光纖探頭用于測(cè)量正常入射角的反射率。


    CCD 線性陣列探測(cè)器,用于絕對(duì)反射率測(cè)量。


    采用 Levenberg - Marquardt 曲線擬合算法進(jìn)行厚度測(cè)量。


    基于 FFT 的厚層厚度測(cè)量,PET 薄膜標(biāo)準(zhǔn)化。


    用于粗糙度測(cè)量的線性、布魯格曼和麥克斯韋石榴石近似模型。


    吸收和透射研究。


    針對(duì) n 和 k 值的參數(shù)化分散模型,如 Cauchy、sellimier、組合和 drude。


    用戶可擴(kuò)展材料庫(kù)


    數(shù)據(jù)可保存為 Excel 文件,用于提取光學(xué)特性


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