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凈化車間的相關知識
閱讀：1178 發布時間：2020-11-14
凈化車間是指將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內之溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
凈化車間的定義
凈化車間主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了無塵標準的*。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5μm及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。