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產品簡介
詳細介紹
多功能 3D/三維光學共聚焦顯微鏡（ OPTELICS HYBRID+，三維表面輪廓儀/三維表面形貌儀 ），高度方向測量精度達0.05nm；系統整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術；以雙共聚焦光學系統為基礎，集6項測試功能于一體，包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉測量、垂直白光干涉測量、相差干涉測量、反射分光膜厚測量等功能；通常多臺設備才能完成的測量，僅需一臺設備即可實現，解決了需要使用多種工具的麻煩，滿足在各種測量場景中的測試需求。
提供6個測試功能模塊，應對多樣測量需求
滿足行業測試規格要求，High精度
提供多種測量和分析
自動化測量技術，高效測量
適用于滿足多樣場景測試需求
三維光學共聚焦顯微鏡（三維表面輪廓儀/三維表面形貌儀） 一個平臺提供6種測試功能:
1. 白光共聚焦
寬視野+High精度測量
高清彩色觀察
2. 激光共聚焦
高倍·High 分辨率觀察
搭載波長405nm的紫色半導體激光，無需前處理，以可媲美電子顯微鏡的High分辨率，鮮明捕捉納米級細微構造。
3. 微分干涉測量
納米級凹凸觀察
共聚焦與微分干涉（DIC）相結合，實現細微凹凸形狀的可視化。由于焦點深度極低，對于透明樣品可以排除其背面的影響僅對表面進行觀察。
4. 垂直白光干涉測量
數毫米寬廣視野內的納米級形狀測量
白光通過雙光束干涉鏡產生的干涉波形，通過垂直方向掃描找到干涉光強度高點，得到樣品的高度分布數據。原理上，高度分辨率不受物鏡放大倍數影響，因此可使用低倍鏡快速完成寬視野范圍測量。
5. 反射分光膜厚測量
納米級透明膜厚測量
利用波長切換功能對6個波長的絕對反射率進行測量，光學建模計算得到膜厚。數nm～1μm的單層/多層膜厚可測量。測量區域在共聚焦觀察圖像上確定，亞微米區域～全視野的數mm區域的平均膜厚均可測量。而且因各個像素(pixel)的膜厚能夠計測，所以可以測量膜厚分布。
6. 相差干涉測量
埃米級形狀測量
白光通過雙光束干涉鏡產生的干涉條紋，與從樣品反射回的反射光的光程差直接相關。在垂直方向細微移動得到4組干涉圖像，通過解析實現高分辨率的高度分布測量。
多種波長切換
測量速度快
3D 形貌測量共聚焦顯微鏡（HYBRID）實現了業界快速幀率(15Hz~120Hz)掃描，實現圖像拼接、自動測量、自動缺陷檢測和快速測量。
High精度測量
三維形貌測量共聚焦顯微鏡（HYBRID）高度方向測量精度達0.05nm。
提供各種測量，分析和支持功能，具有可用性
LM eye是HYBRID的測量和分析軟件，提供多種功能，幫助您順利操作
測量和分析功能
可以測量和分析參數，包括輪廓，粗糙度和薄膜厚度
測量支持功能
HYBRID提供各種測量、分析
自動化操作，效率更高
LIBRA
LIBRA 是一個軟件程序，它使用定義的平臺執行自動測量。
LM 檢測
LM Inspect 是一個軟件程序，可以自動檢測基材上的小顆粒和缺陷。并且支持使用缺陷審查和深度學習進行高精度缺陷分類。
其他型號：
