產品簡介
小型1000℃RTP管式爐是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4“石英管和真空法蘭,是專為半導體或太陽能電池基片(大3“)的退火而設計。本機采用10KW紅外燈管加熱,升溫速度為 50℃/s,設有30段溫度控制,精度為±1℃。此外,通過RS485口和控制軟件可在計算機上實現實時控制和溫度曲線顯示。
詳細介紹
小型1000℃RTP管式爐 是一款精巧型快速熱處理管式爐。本機采用紅外燈管加熱,升溫速度為 50℃/s,設有30段溫度控制,精度為±1℃。
小型1000℃RTP管式爐技術參數
技術參數 |
1、電源:220AC,50Hz/60Hz 2、爐體結構:雙層結構構 3、石英管:外徑?110mm,內徑?103mm,長380mm 4、樣品架:76mm 5、加熱元件:紅外燈管,、 7、熱偶:K型熱偶 8、設計溫度:1100℃, 9、控溫精度:±1℃ 10、升溫速度:RT-800℃內50℃/s,800℃-1000℃內10℃/s 12、真空度:(機械泵),(分子泵) 13、真空法蘭: 帶有KF-D25高真空不銹鋼法蘭,配有兩個高溫O型圈密封 14、流量計:16ml/min-160ml/min |