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VCR音速噴嘴計量模組ZEX-VCR音速噴嘴(限流孔板)計量模組概述
ZEX-VCR 微米級超純特氣限流音速噴嘴模組,是一款應用于氣體流量限流 和定量的場合,其主要特點就是精度高,耐高溫和高壓等,目前應用于特純氣體的限流控制,和正壓法音速噴嘴的標定/校準等設備制造，
具有超過的耐溫性能 正常工作溫度可到達200C,結構采用硬質鎢鋼 與外殼不銹鋼采用銅粉高溫熔接技術,保證長時間高溫下使用焊接可靠。目前生產的臨界音速噴嘴已經用于某航空航天高溫測試平臺。
VCR音速噴嘴計量模組產品特點:
微米級的激光加工技術,精度更高
采用硬密封技術 無橡膠 密封件不存在氣體吸附的問題基于音速噴嘴臨界流音速噴嘴工作原理設計 應用技術成熟
技術參數:
流量范圍:5~5000mL/min
口徑范圍:10~200um
壓力范圍:0.5-4MPa
ZEX-SNMAG2110)051
噴芯材料:CVD(人造鉆石)/硬質鎢鋼
結構材料:316L
VCR音速噴嘴計量模組應用行業:半導體 光學鍍膜 空氣揮發物 VOC分析等其他特氣控制領域
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