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旋涂儀的操作說明
閱讀：5124 發(fā)布時(shí)間：2021-8-26
旋涂儀有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
旋涂儀的操作說明：
1.開機(jī)前準(zhǔn)備
(1) 用丙酮與無塵紙清理之前光阻圖布的殘余物.
(2) a. 選擇適合尺寸大小的吸盤(1/2",1",2",3",4",5",6",7",8").
b. 將吸盤裝上(將吸盤缺口處對準(zhǔn)軸心之插梢位置).
c. 將樣品放在吸盤上(啟動前請確定樣品放在吸盤正中央的位置). ※ 不可放入破片只能放4吋晶圓,以防光阻倒流入真空吸槽.
2.開機(jī)&設(shè)定
(1) a. 將"POWER"開關(guān)打開.
b. 將"CONTROL"按鈕壓下(若沒有壓下則機(jī)臺將無法操作).
(2) 設(shè)定涂布的時(shí)間及轉(zhuǎn)速 : Step I Timer I : 2~18 Sec Speed I : 500~2500R.P.M. Step II Timer II : 3~60 Sec Speed II : 1000~8000R.P.M.
(3) 打開真空幫浦開關(guān),并將"VACUUM"按鈕壓下此時(shí)開始抽真空吸附樣品. 啟動"START"前,請確認(rèn)涂布的時(shí)間及轉(zhuǎn)速是否已設(shè)定完成.
(4) 將光阻劑滴在樣品中心的位置.并將上蓋蓋上,防止意外發(fā)生.
(5) 壓下"START"按鈕,此時(shí)機(jī)臺開始依步驟(4)的設(shè)定條件依Step I,Step II 的 順序開始涂布樣品.
(6) 待時(shí)間完畢后,機(jī)臺隨即停止運(yùn)轉(zhuǎn),完成涂布的動作.
3.關(guān)機(jī)
(1) 將"VACUUM"關(guān)閉,并將真空幫浦關(guān)閉,取下完成樣品.
(2) 將"CONTROL"按鈕及"POWER"開關(guān)關(guān)閉. PS. 此機(jī)臺有預(yù)留廢液回收口,可將多余廢液排出.
(3) 用丙酮清理圖布后的光阻痕跡.
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