目錄:青島天仁微納科技有限責(zé)任公司>>納米壓印配套設(shè)備>> 150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備
全自動納米壓印光刻基底預(yù)處理;
Cassette to cassette機(jī)械手自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能;
毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗;
旋涂勻膠,包含自動供膠系統(tǒng)、EBR、BSR等功能;
熱板烘烤、冷板冷卻功能;
可選配Plasma表面處理功能。
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