相對濕度發生器種類繁多，原理各異，這里我們將介紹其中兩種的原理:
1、低霜點濕度發生器
低霜點濕度發生器是一種專門用于低濕度現場校準的設備，可以產生水蒸氣含量低至ppm(即小于百萬分之一)的氣體。
與雙溫法類似，霜點相對濕度發生器制備已知濕度氣體的過程是一個恒壓變溫的過程。干燥的氣體首先流經熱交換器，然后進入飽和器，換熱器和飽和器都浸沒在恒溫液罐中。飽和器是一個螺旋金屬線圈，管子的內表面覆蓋著一層大約1毫米厚的薄冰。通過飽和器的氣流距離冰面不超過4毫米。當流速為2L/分鐘時，氣體的平均傳質時間約為7s。熱交換后，干燥氣流達到槽溫，然后進入飽和器。因為使氣流飽和所需的水蒸氣量非常少，所以冰在管道中的升華不會導致冰面溫度升高。
此外，由于盤管足夠長，氣體飽和過程已經在盤管前端完成，盤管的其余部分僅用于飽和氣體zui后的熱交換。通過飽和度冷凝器中的氣體壓力沒有明顯下降。飽和器出口處氣體的溫度與飽和器的溫度相同或非常接近，所以這個溫度可以看作是氣流的霜點溫度。
2、分流式相對濕度發生器
原理:干氣源(通常是干燥空氣)的氣體按一定比例分成兩部分。一部分進入飽和器S，飽和氣流與混合室CM中的另一部分相同。干氣混合后進入試驗箱CT，排入大氣。飽和器、混合室和試驗箱浸沒在同一個恒溫槽中。試驗箱中的相對濕度是以下因素的函數:
（1）通過飽和器的空氣分數。
（2）飽和器中的總壓力。
（3）飽和水蒸氣壓。
（4）試驗箱中水蒸氣的分壓。
