描述
MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎的多氣體光譜 分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產工藝控制和監控，氣體純度和組成分 析，環境有毒有害氣體監視和工業尾氣監視。MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能 分析含有高達40%水的氣流，能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜，故 省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會發現MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操 作簡便，易于維護。
MKS MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由保護的2102傅利葉變換紅外制成分光計， 高光通量取樣單元，專業分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。MKS MultiGasTM6030收集高分辨率 的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量。
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