安裝條件

本設筐要求在海拔1000m以下，溫度25。。=15。（2,濕度55%Rh=10%Rh下使用。

1、 水：不需要

2、 電：AC220\'50Hz,必須有良好接地。

3、 氣：如作為CVD系統使用，客戶需自筐氣源（標準帯有寶塔接頭，R.自費改制成為雙卡套接頭）。

4、 工作臺：R\T600mmx600mmx700mm,承重 100kg以上

5、 顧蝠:孵.

主要特點

1、 雙層殼體，甑有循環風冷系統，殼體溫度＜60'C。

2、 內爐膛表面涂有進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時延長使用壽命。

3、 采用PID控制器，可以設置30段升降溫程序。

4、 設有超溫及斷偶報警功能。

5、 已通過CE認證。

技術參教

1、 電源：AC 220V 50Hz 60Hz 2.5KW

2、 石英管：外徑050mm，內徑044mm，長1000mm

外徑06Omm, 內徑054mm，長 1000mm

外徑080mm，內徑074mm，長 1000mm

外徑0100mm，內徑094mm，長 1000mm

標準反件

1

石英管

1根

2

不銹鋼真空法蘭

1套

可迭酉!件

1、 鉉鋸式法蘭

2、 數字真空計

3、 PC控制軟件