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產品簡介
MLT-PT90渦輪分子泵機組是米立特公司新型的組合式分子泵，能產生5×10-8mbar以上的真空度，同時具有使用簡單可靠的特點，被各地的用戶廣泛使用。
詳細介紹
MLT-PT90渦輪分子泵機組是米立特公司新型的組合式分子泵，能產生5×10-8mbar以上的真空度，同時具有使用簡單可靠的特點，被各地的用戶廣泛使用。它的主要特點如下：
• 前泵與分子泵合為一體，不需要再另接前泵。
• 前泵采用干式運行的隔膜泵，使整套設備免維護，干式運行，體積小，重量輕。
• 自動測量前泵產生的真空壓力并自動啟動分子泵，不需要附加裝置和人為控制，前泵與分子泵的配合*自動化。
• 配有給容器充氣的充氣開關。
• 當達到一定的真空壓力后，可選擇自動關閉前泵，以節省電源，增加設備的使用壽命。
• 采用自動空氣冷卻。
• 結構特別緊湊，性能可靠。
• 操作特別簡單，只用一個總開關便可開關渦輪分子泵組。
MLT-PT90渦輪分子泵機組技術參數：
| Description | MLT-PT90i/DIVAC 3.0 | MLT-PT90i/Ecodry 25 plus |
| Turbomolecular pump | TURBOVAC 90i | TURBOVAC 90i |
| Fore vacuum pump(Dry) | DIVAC3.0 | Ecodry 25 plus |
| High vacuum connection | DN 63 ISO-K/CF | DN 63 ISO-K/CF |
| Turbopump Operating speed | 7200rpm | 7200rpm |
| Pumping speed for N2/H2 | 90I/s / 78I/s | 90I/s / 78I/s |
| UItimate pressure | 63 ISO-K:<8×10-8mbar 63CF:<5×10-10mbar | 63 ISO-K:<8×10-8mbar 63CF:<5×10-10mbar |
| Fore pumping speed | 3.0 m3/h | 25 m3/h |
| Mains supply | 230±10% V | 230±10% V |
| Number of gauges,max. | 2 | 2 |