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表面光電壓法的基本原理?12

表面光電壓法（Surface Photovoltage Method，簡稱SPV法）是通過測量由于光照在半導體材料表面產生的表面電壓來獲得少數載流子擴散長度的方法。其原理是：用能量大于半導體材料禁帶寬度的單色光照射在半導體材料表面，在其內部產生電子-空穴對，受濃度梯度驅動擴散至半導體材料近表面空間電荷區的電子和空穴將被自建電場分離，形成光生電壓，即表面光電壓

表面光電壓法的應用和優勢

SPV法是表征半導體材料少子擴散長度的主要方法，具有以下優點：

• 是一種穩態方法，與時間無關，避免了體內和表面復合對測試結果的影響。

• 一般情況下，表面復合過程不影響少子擴散長度的測試結果，表面復合速率只對表面光電壓信號強度產生影響，因此無須特殊處理材料的表面。

• 是一種無接觸的測試方法，測試成本低、易于操作、不容易受到干擾，并且可以實施面掃描（mapping）。