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魔技納米無掩模激光直寫設備亮相了

閱讀:1756      發布時間:2022-6-30
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魔技納米科技有限公司成立于2017年,是三維微納制造領域集研發、生產、銷售、服務于一體的高新技術企業。公司深入生物醫療、光電通信、新材料、微納器件等多個產業應用領域,擁有應用于多行業場景的成熟加工工藝。可定制研發適配各產業領域生產需求的個性化設備和產品,突破生物制藥、傳感、光電芯片、超材料等領域從科研到工業生產的屏障,將納米級制造精度和大范圍生產結合,提供針對精密智造領域的整套專業解決方案。
MN-UV-Ultra魔技納米無掩模激光直寫設備自主創新的激光直寫方式,采用非接觸式數字微鏡和矢量掃描加工方式相結合,可實現快速高平滑邊緣加工,同時實現高精度和高速加工模式。
MN-UV-Ultra無掩模激光直寫設備特點:
1.無需掩模,可實現納米級精度的三維加工;
2.自主研發的超高速加工方式,便于工業應用;
3.拼接誤差極小;
4.適用高達12英寸的基材;
5.全自動控制系統。
主要技術參數:
類型:Standard
最小線寬:0.8µm
最小線間距:1µm
邊緣粗糙度:0.04µm
結構均勻性:0.08µm
對準精度(100*100mm2):0.6µm
最大加工速度:75mm2/min
最大曝光面積:100*100mm2
光源LED/Laser:405/365nm
 

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