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產品簡介
掃描電鏡等離子清洗機采用遠程等離子清洗源設計，清洗快速高效，低轟擊損傷，主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。
詳細介紹
MCGILL掃描電鏡等離子清洗機
MCGILL 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程等離子清洗源設計，清洗快速高效，低轟擊損傷，主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。
產品特點
u 遠程等離子體清洗源
u 一機多用
u 高效低損傷
技術參數
產品型號 | MCGL-SEM |
法蘭接口 | KF40（CF40） |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調， |
遠程等離子源，自動匹配器 | |
氣體控制 | 標配單路質量流量計（MFC）可選雙路。50毫升/分，自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面 |
電源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮氣、氫氣發生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min |
質量保證 | 二年質保，終身維護 |