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易度質(zhì)量流量控制器及流量計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用優(yōu)勢

閱讀:383      發(fā)布時(shí)間:2025-2-13
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在半導(dǎo)體行業(yè)中,對質(zhì)量流量計(jì)(MFM)質(zhì)量流量控制器(MFC)的性能和參數(shù)需求非常高,以滿足精密制造的要求。

半導(dǎo)體行業(yè)對質(zhì)量流量計(jì)的性能和參數(shù)需求

高精度:

半導(dǎo)體工藝對氣體流量控制要求很高,通常需要精度達(dá)到±0.5%或更高。

小流量測量能力(如sccm,標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘)是關(guān)鍵,尤其是在沉積、刻蝕等工藝中。

快速響應(yīng)時(shí)間:

 工藝氣體流量需要快速調(diào)整,響應(yīng)時(shí)間通常在毫秒級別,以確保工藝穩(wěn)定性。

寬量程比:

 半導(dǎo)體工藝涉及多種氣體和流量范圍,質(zhì)量流量計(jì)需要具備寬量程比(如100:1或更高),以適應(yīng)不同工藝需求。

多氣體兼容性:

半導(dǎo)體制造中使用多種氣體(如惰性氣體、腐蝕性氣體等),質(zhì)量流量計(jì)需支持多氣體校準(zhǔn)和測量。

穩(wěn)定性和重復(fù)性:

長期穩(wěn)定性高,重復(fù)性好,確保工藝一致性,減少設(shè)備校準(zhǔn)頻率。

耐腐蝕性:

半導(dǎo)體工藝中常使用腐蝕性氣體(如Cl?、HF等),流量計(jì)材料需具備高耐腐蝕性(如不銹鋼、哈氏合金等)。

低壓力損失:

低壓力損失設(shè)計(jì)可減少對工藝系統(tǒng)的干擾,降低能耗。

清潔度和顆粒控制:

流量計(jì)內(nèi)部設(shè)計(jì)需避免顆粒產(chǎn)生,確保高潔凈度,防止污染晶圓。

溫度和環(huán)境適應(yīng)性:

能夠在寬溫度范圍和惡劣環(huán)境下穩(wěn)定工作。

易度層流質(zhì)量流量計(jì)的具體優(yōu)勢

高精度小流量測量:

層流設(shè)計(jì)特別適合半導(dǎo)體行業(yè)對小流量(如sccm級別)的高精度需求。

低壓損設(shè)計(jì):

減少對工藝系統(tǒng)的干擾,降低能耗,適合長時(shí)間運(yùn)行。

快速響應(yīng):

引壓孔兩端的壓力壓差以聲波速度傳輸,響應(yīng)時(shí)間可達(dá)1ms

高潔凈度:

無活動部件,減少顆粒產(chǎn)生,滿足半導(dǎo)體行業(yè)對潔凈度的嚴(yán)苛要求。

耐腐蝕性強(qiáng):

接氣部采用高耐腐蝕材料以及耐腐蝕傳感器,適合腐蝕性氣體環(huán)境。

長期穩(wěn)定性:

無活動部件設(shè)計(jì),減少磨損,長期穩(wěn)定性更高,降低維護(hù)成本。

       半導(dǎo)體行業(yè)對質(zhì)量流量計(jì)的要求很高,易度層流質(zhì)量流量計(jì)憑借其高精度、低壓損、快速響應(yīng)和高潔凈度等優(yōu)勢,在半導(dǎo)體行業(yè)中表現(xiàn)出色,成為半導(dǎo)體制造中的理想選擇。


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