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產品型號

  PCE-8等離子清洗機

主要特點

  1、采用6″彩色觸摸屏，可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。

  2、內部配有0-500mm/min的質量流量計，可以精確地控制進氣流量。

技術參數

  1、電源：AC220V

  2、射頻功率：zui大100W，可在0-100W間調節

  3、真空泵功率：<500W

  4、總功率：<600W

  5、射頻：13.56MHz

  6、等離子腔體：高純石英腔體，外徑 Φ8.5 "，內徑 Φ8.2 "，長12"，采用鋁制折疊式法蘭進行真空密

                                封，法蘭設有一個Φ60mm的觀察窗口

  7、極限真空度：50mtorr

  8、通入氣體：可通入多種氣體，如N₂、Ar、Air、H₂、O₂和混合氣體等等（根據材料性質所定）

清洗及蝕刻

產品規格

  尺寸：620mm×450mm×600mm

標準配件

  1、直連式雙旋真空泵（240L/min）

  2、KF25波紋管

  3、KF25手動擋板閥

可選配件

  1、300W、600W射頻電源（進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗）

  2、2″-6″石英舟（盛放基片）

  3、2-4通道浮子混氣系統

  4、2-4通道質子混氣系統