整體式質譜氮氣發生器的原理主要基于變壓吸附制氮原理，即利用吸附劑（如碳分子篩）對空氣中氧、氮吸附能力的差異來實現氧、氮的分離。
具體來說，當空氣經過凈化處理后，通過切換閥進入吸附塔。在吸附塔內，氧氣被分子篩吸附，而氮氣則聚集在吸附塔的頂部并進入氮氣儲罐。隨后，氮氣再經過濾凈化，即可獲得合格的氮氣。這一過程是通過兩只吸附塔交替進行吸氧產氮和脫氧再生，從而實現連續不斷地產出氮氣。
此外，整體式質譜氮氣發生器還采用了一些技術來提高氮氣的純度和產量。例如，儀器控制系統采用專用芯片，整個工作過程均由程序控制完成，實現自動恒壓、恒流，氮氣流量可根據用量實現全自動調節。同時，電解池采用立式單液面雙陰極，膜分離技術，催化層使用高效載體及貴金屬催化物，使得電解池催化效率高，產氣量大，氮氣純度高。
整體式質譜氮氣發生器通過變壓吸附制氮原理以及一系列先進的技術手段，實現了氮氣的高效、純凈和連續生產，為質譜分析等領域提供了穩定可靠的氮氣源。
