微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學品，該粒子計數器需要經過高度過濾，適用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化學式粒子計數器具有20 nm的粒子靈敏度，是目前靈敏度最高的高純度工藝化學品粒子傳感器。

來自化學品輸送和包裝系統的廣泛數據證明，與其競爭產品相比，具有20nm靈敏度的PMS Chem 20傳感器統計出的顆粒濃度較大，數據具有統計意義。 Chem 20化學顆粒計數器是非常有用的工具，在化學顆粒源影響工藝和設備性能之前，便能夠快速檢測化學顆粒源。

化學品粒子計數器特點

• 新增離線采樣功能

• 良好的激光光學和檢測器使檢測化學物質的靈敏度達到20 nm

• 自帶化學流量計用于設定樣品流量

• 針對不同折射率的化學品進行監測，以提高數據可靠性：
     Chem 20：適用于折射率較低的化學品
     Chem 20-HI：適用于硫酸和其他折射指數較高的化學品

• 內部泄漏監測：在內部化學品泄漏時提供報警

• 低流量監測器和報警器，以確保數據一致

• 宏觀氣泡探測器用于保護傳感器性能

• 本地數據顯示

化學品粒子計數器優點

• 實時監測20 nm PSL和9 nm Au微粒

• 監測影響良率的粒子（競爭技術無法達到）

• 在掃描表面或得到數據之前，快速響應粒子偏移

• 優化化學品輸送系統，覆蓋從裝卸碼頭到加工節點的整個過程

• 改善樣本的數據統計，加強過程工藝控制

• 針對不同潔凈度的產品，使用兩種視圖模式優化儀器操作，拓展產品應用空間

• 傳統數據采集系統能夠靈活通信

• 便捷的在線和離線20nm監測

應用

• 化學輸送系統內的實時粒子監測

• 流程監控點

• 化學包裝操作監控

• 化學過濾器性能和效率描述

• 化學處理部件的性能測試

• 化學品質量驗證

   

化學品粒子計數器的操作步驟  

1、準備狀態1.1電源開關處于彈出位置。1.2采樣嘴與自凈口用軟管連接。1.3將打印機用打印扁帶線與后面板的打印接口連接;  

1.4，220V交流電源接人插座，并接通電源。  

粒子計數器預熱按下電源開關電源指示燈亮檢測周期1min指示燈亮，多功能顯示屏上出現“READY”字樣  

3、粒子計數器使用按測量鍵，儀器即開始一個檢測周期。此時，儀器指示燈和量程指示燈亮，氣泵開始工作，流量計指示流量，多功能顯示屏顯示原來的“READY”字樣消失，開始顯示粒子數(若原來顯示時間則仍顯示時間，直到再次按時鐘/粒徑鍵才開始顯示粒子數)。  

4、(將出廠時的密封軟管接頭從采樣嘴拔下)將采樣管一端與相接，另不端接上喇叭口，(附件)，旋動流量調帶鈕，將浮子上端面調至2.83L/min刻線處;儀器便可以開始測試。為了防止管道內壁吸附的塵埃粒予影響測量結果，應放過一至二遍測量數據測量計數可分總數和窗口兩種  

5、打印5.1測量結果需打印時，可按打印鍵這時打印指示燈表示檢測周期結束后，粒子計數器即可自動打印出測量結果第二次打印鍵打印指示燈打印命令解除。  

直接用儀器對電池進行充電：  

將電池插入儀器的電池槽，關好電池倉蓋。  

將外接電源的出口端插入儀器上的24VDC電源輸入端。  

將外接電源的輸入端插入交流電插座，此時儀器上的電池狀態燈閃爍。  

當充電完成，電池狀態指示燈常亮。  

從交流電插座上拔下外接電源的輸入端插頭，然后從儀器上拔下輸出端插頭。  

警告：請注意外接電源插拔順序！  

使用充電器對電池充電