經(jīng)歷過長達(dá)幾十年迭代更新，才有如今的掃描電鏡，下面就為您簡單介紹電子顯微鏡的發(fā)展史。
電鏡的發(fā)展歷史要從1924年波粒二相性理論的提出開始介紹。
1924年法國物理學(xué)家德布羅意提出“物質(zhì)波”假說，認(rèn)為和光一樣，一切物質(zhì)都具有波粒二象性。 根據(jù)這一假說，電子也會具有干涉和衍射等波動現(xiàn)象，這被后來的電子衍射試驗所證實。由此，物理學(xué)界也開始了拉開了利用電子成像的帷幕。
1926年：磁透鏡聚焦理論的提出
德國學(xué)者H.Busch提出了運(yùn)動電子在磁場中的運(yùn)動理論。他指出：具有軸對稱的磁場對電子束具有聚焦作用。這為電子顯微鏡的發(fā)明提供了重要的理論依據(jù)。
1931年：首個電子圖像的獲得
德國學(xué)者Knoll和Ruska獲得了放大12倍銅網(wǎng)的電子圖像。證明可用電子束和磁透鏡進(jìn)行成像。
早期的透射電鏡 大約1934年左右
1931-1934年：首臺透射電鏡的誕生
1939年研制成功世界上首臺商品透射電鏡，分辨率優(yōu)于100埃；1954年進(jìn)一步研制成功ElmiskopI型透射電鏡，分辨率優(yōu)于10埃。
1939年：首臺商品透射電鏡的問世
德國學(xué)者魯斯卡等研制成功世界上首臺透射電子顯微鏡，至1934年其分辨率達(dá)到了500埃。魯斯卡因為在電鏡光學(xué)基礎(chǔ)研究及以上貢獻(xiàn)獲得了1986年諾貝爾物理獎。
1935年：頭次提出掃描電鏡概念。
在透射電鏡的基礎(chǔ)上,1935年德國學(xué)者諾爾頭次提出了sem掃描電鏡的概念，1952年劍橋大學(xué)Oatley等制作了出掃描電鏡。
1965年：首臺商品掃描電鏡誕生
1965年劍橋大學(xué)推出首臺商品掃描電鏡。目前其發(fā)展方向是場發(fā)射型高分辨掃描電鏡和環(huán)境掃描電鏡。
電子顯微鏡通常可分為掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡兩類，是材料微觀分析的重要工具之一，被廣泛應(yīng)用于材料、化工、醫(yī)學(xué)、生物等各個領(lǐng)域。
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