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美國 Harrich PDC-MG 高集成度等離子清洗機
技術(shù)參數(shù)：
1.整機規(guī)格：500×300×300（長×寬×高）mm
2.整機重量：35 Kg
3.清洗艙規(guī)格：Φ165×L210 mm (耐熱玻璃)
4.清洗艙有效容積：4.5 L
5.輸入電源：220 V／50 Hz
6.整機輸入功率：400 W
7.射頻輸出：0～150 W（連續(xù)可調(diào)）
8.射頻頻率：13.56 MHz
9.數(shù)字式定時器范圍：0～99.99 min
10.極限真空度：60 Pa
11.二路浮子流量計：0.2~1.5L/min量程，方便二種氣體按比例混合
12.觀察窗：觀察清洗倉內(nèi)輝光狀態(tài)
13.常用工作氣體：空氣、氬氣、氮氣或混合氣體
14.VRD-8型單相真空泵
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