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一、質量流量的測量和控制不會因為溫度或壓力的波動而失準

　　對于多數流量測控系統或者設備而言，很難避免的就是由于系統或管道的壓力波動及環境和介質的溫度變化，從而對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差;對于質量流量計/質量流量控制器控制器，這種誤差則一般幾乎不存在。

　　二、利于測量控制的自動化

　　質量流量計/質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示、累積流量自動計量、數據自動記錄、計算機管理等。對質量流量控制器而言，還可以實現流量的自動控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0～+5V或4～20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。

　　三、對于過程控制的精確定量控制流量

　　質量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對很多輔助工業生產，工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。

　四、適用介質環境壓力流量等的范圍寬

　　有很寬的工作壓力范圍，能適應多種介質，適應多種溫度。產品可以從真空直到10MPa甚至更高; 可以適用于多種氣體介質(包括一些腐蝕性氣體，如HCL);有很寬的流量范圍，我們的產品小流量范圍可達0～5 sccm，大流量范圍可達0～200 slm甚至更大。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2～100% 量程比為-- 50:1, 基于以上諸多優點，因此在很多領域得到廣泛應用。