氣體質量流量控制器(MFC)/氣體質量流量計(MFM)主要是熱式工作原理、差壓式工作原理和科里奧利工作原理，其中熱式原理的氣體質量流量控制器(MFC)/氣體質量流量計(MFM)采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制，所以氣體質量流量控制器的應用在工業中比較廣泛，作為一個相對精密的儀器，想要儀器有一個相對長久的使用壽命，就離不開我們在使用過程中做好維護，而且也要做好記錄。
氣體質量流量控制器(MFC)/氣體質量流量計(MFM)使用一段時間后需定期的對氣體質量流量控制器拆開進行內部的氣路進行清理，在檢查是否有受損的零件；檢查氣體質量流量控制器的管道剛性是否是缺乏的狀態，避免作業時出現振蕩現象；氣體質量流量控制器里外的污染清理，避免密封面的損壞；質量流量控制器的壓力、流量等在所能測試的范圍：各類質量流量控制器都有其固定的檢測壓力、流量范圍，在其測定范圍內完成測量，才能保證質量流量控制器準確地進行測定。
氣體質量流量控制器(MFC)/氣體質量流量計(MFM)的校準和檢測與同其它的分析檢測儀器一樣，都是用相對比較的方法進行測定的。因此，對氣體質量流量控制器進行校零，經常性對儀器進行校準都是保證儀器測量準確的的工作。綜上所述，我們在使用氣體質量流量控制器(MFC)/氣體質量流量計(MFM)時，需要精心的維護，一旦發生儀器故障時可以及時查找到其原因。而且我們要注意的時，一旦儀器發生了故障，那么我們盡量找到原廠的氣體質量流量控制器廠家進行維修減少損失。
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