AE 射頻電源 APEX 5513 13.56MHz 5500W 射頻發生器功率密度高，能夠實現緊湊型安裝。在空間有限但性能至關重要的情況下，簡化版APEX Series 射頻發生器能為客戶提供值得信賴的各種安裝選項和功率。

AE APEX Series 射頻發生器可以適配腔室、機架或框架等安裝選項，在提供方便的同時還可以降低功率損耗。全系列RF Generator 有優秀的電弧管理能力，在13.56Mhz頻率下，可選擇1.5KW~10KW不同輸出功率的設備。

技術參數

Power Level : 1.5, 3, and 5.5 kW

Frequencies : 13 MHz

Available Interfaces : RS-232, 25-pin analog, Ethernet, DeviceNet

AC Input : 208 VAC

Line Frequency : 50/60 Hz

Cooling : Water

Ambient Air Temperature Range : +5 to +40°C

Cooling Water Temperature Range : +5 to +35°C

Advanced Features : Pulsing, CEX

AE 射頻電源 APEX 5513 13.56MHz 5500W 射頻發生器

優點：

1. 靈活性提高，可直接集成工藝機臺

2. 等離子操作穩定化

3. 提高快速電弧管理的良品率

4. 易于根據客戶的工藝要求進行定制和配置

特點：

1. 流線型設計，實現大功率密度

2. 可選腔室安裝、工具框架安裝、機架安裝和鞋盒式安裝

3. 寬帶控制回路

4. 可選脈沖控制

5. 高速電弧管理