MKS RGA 殘余氣體分析儀 MicroVision Plus 具有高穩(wěn)定性的操作和快速，寬的動態(tài)范圍掃描允許過程偏差和氣體成分的變化被立刻凸顯出來。MicroVision Plus 提供優(yōu)秀的電子技術(shù)，以及可用于生產(chǎn)的殘余氣體分析儀器。

MicroVision Plus 具有“智能頭"技術(shù)——電子元件直接安裝在分析頭上，并通過RS232C或RS422接口直接連接到系統(tǒng)PC。為滿足特定的應(yīng)用要求，可提供開放離子源和特高壓源。開放式離子源分析儀由不銹鋼和高純氧化鋁陶瓷制成，具有獨立可更換的雙燈絲，為更長的操作提供內(nèi)置備份，沒有真空中斷。

MKS RGA 殘余氣體分析儀 MicroVision Plus 特點

1.高穩(wěn)定性射頻和數(shù)據(jù)采集電子，快速預(yù)熱

2.快速，寬動態(tài)范圍掃描-快速突出工藝偏差

3.預(yù)過濾分析儀作為提高抗污染能力和提高質(zhì)量靈敏度的標準

4.靈活的I/O能力，與生產(chǎn)工具和其他傳感器的交互

規(guī)格

質(zhì)量范圍：1~100，1~200和1~300amu 標準1~6，和1~100高性能選項

MAX運行壓力：7.6 * 10^-5Torr

最小可探測壓強：通道板掃描電鏡：3.8 * 10^-14 Torr；單通道掃描電鏡：7.6 * 10^-15Torr

質(zhì)量穩(wěn)定性：在環(huán)境溫度穩(wěn)定的條件下，8小時內(nèi)優(yōu)于±0.1amu