AE 射頻電源 Paramount MF5002 2MHz 5000W RF Generator 是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源，Paramount MF系列射頻功率發生器集頻率調諧、脈沖和全數字控制于一身。設備采用的全數字控制可動態響應等離子體變化，頻率和功率可定制范圍分別從400kHz ~ 60MHz和1.5KW ~ 10KW，能夠實現控制的優化和同步。

Paramount 平臺采用數字架構，可實現精密的電源管理和優化新功能的集成，無需研制周期或硬件更改。該平臺通過實時檢測等離子體的變化，實現大功率輸出和可重復性能。內部保護限值還可確保操作穩定可靠。關注操作靈活性，推動您的工藝開發。Paramount® 射頻發生器可提供寬頻率和功率范圍，支持多種集成場景，并配備標準串行或模擬接口。

優點：

提高等離子體穩定性和工藝可重復性

精密控制射頻功率

快速響應等離子體變化

易于調整滿足特定應用需求

特點：

全數字控制

頻率調諧、脈沖和脈沖同步

實時功率和阻抗測量

電弧管理

相位同步（CEX）

AE 射頻電源 Paramount MF5002 2MHz 5000W 技術參數：

AC輸入：200 ~ 208V，3 phase ~，23A（Max.），50 ~ 60Hz

RF輸出：5000W，1.8 ~ 2.17MHz，775Vrms

散熱：水冷+風冷

工作環境溫度：+5℃ ~ +40℃

通信接口：RS-232、用戶端口、以太網、DeviceNet、Profibus、EtherCAT