MKS 高頻射頻電源 EDGE 10060A-E13 RF Generator 是專為薄膜加工設備提供的可靠的固態電源，是制造現代計算機和電子設備所需的集成電路或芯片的半導體制造系統的重要部件。MKS EDGE Series射頻電源廣泛的應用于半導體制程中，如CVD、PVD、PECVD等，輸出穩定可靠，具有優秀的成膜能力，在半導體薄膜工藝中，該型射頻電源成膜速度快，能夠在一定程度上提高產線效率，同時能夠實現對射頻輸出的精密控制，保證產品良率。

MKS 高頻射頻電源 EDGE 10060A-E13 參數規格

品牌：MKS

設備型號：EDGE 10060A-E13

AC 電源輸入：3 phase~，200~208V，55A，50/60Hz

RF 射頻輸出：10000W，57.0~63.0MHz

通信接口：Interlock、RS-232C，CEX，ECAT，ETHERNET

設備散熱：水冷散熱                                                                                                                                                                                                        

水冷進水需求：MIN水流速度 1.5Gal/min；MAX水流壓力 80PSI