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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>匹配器（RF Match）>>DAIHEN HRM Series>> DAIHEN NX-HRM-30B4DAIHEN 射頻網絡匹配器 NX-HRM-30B4
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 2L39-000040-51 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | DAIHEN | 型號 | NX-HRM-30B4 |
| P/N | 2L39-000040-51 | 頻率 | 13.56MHz/100MHz |
| 輸出功率 | 3000W/5000W | 設備狀態 | Refurbished |
DAIHEN 射頻網絡匹配器 NX-HRM-30B4 13.56/100MHz 3000/5000W RF Match 是經過長期現場驗證的具有優良工藝穩定性和控能力的高性能射頻阻抗網絡匹配器，能夠實現對射頻輸出和功率的精準控制，常常運用于濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導體制程中。該型射頻電源阻抗網絡匹配器設計有雙射頻通道信號匹配，分別為13.56MHz/3000W和100MHz/5000W。DAIHEN NX-HRM系列射頻阻抗網絡匹配器響應速度快，匹配精度高，能夠迅速完成匹配，對功率反射信號的偵測靈敏，可以快速反射功率，提高能源效益，降低客戶的使用成本。
DAIHEN 射頻網絡匹配器 NX-HRM-30B4 13.56/100MHz 3000/5000W 參數規格
設備品牌：DAIHEN
設備型號：NX-HRM-30B4
DC 電源輸入：24V，5.5A
RF 射頻輸入 13.56MHz/100MHz
輸出功率：3000W/5000W
通訊接口：DeviceNet，Display，Debug，Pulse In，Analog-I/F I/L
設備散熱：風冷散熱
設備重量：26.5kg
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