19975057911
當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>> ASE APG-3000PROASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator
MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator
DAIHEN 射頻電源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000
| 供貨周期 | 現貨 | 應用領域 | 電子/電池,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 主要用途 | RF GENERATOR | 品牌 | ASE |
| 型號 | APG-3000PRO | 頻率 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | 3000W | 設備狀態 | Refurbished |
ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator 是經過現場長期驗證的具有優良可靠性和穩定輸出能力的高性能射頻電源，主要運用在半導體濺射、CVD、PECVD、蝕刻等制程中。ASE APG 系列射頻電源具有優秀的工藝穩定性和射頻控制能力，能夠實現對射頻輸出的精準控制。APG 系列射頻電源具有良好的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半導體制程薄膜工藝中具有廣泛應用，能夠在一定程度上的提高產線效率和產品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設計，小巧便捷，能夠降低客戶的使用成本。
ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator 參數規格
設備品牌：ASE
設備型號：APG-3000PRO
AC 電源輸入：3 phase~ ，AC200~220V，50/60Hz，5.3kVA
RF 射頻輸出：13.56MHz，3000W
通訊接口：Remote Control，RS-232C，EXT In/Out
設備散熱：風冷+水冷
水冷進水流量：4.0L/min（1.05Gal/min）
水冷進水水壓：MAX 0.5MPa
水冷進水水溫：10℃~35℃
Fitting：NPT1/4（Female）
設備重量：24kg（52.8lbs）
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責，化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。
化工儀器網