三级片视频播放,精品三级片在线观看,A级性爱视频,欧美+日韩+国产+无码+小说,亲子伦XX XX熟女,秋霞最新午夜伦伦A片黑狐,韩国理伦片漂亮的保拇,一边吃奶一边做边爱完整版,欧美放荡性护士videos

您好, 歡迎來到化工儀器網

| 注冊| 產品展廳| 收藏該商鋪

18675539088

technology

首頁   >>   技術文章   >>   什么是濺射靶材?

深圳市儀寶科技有限公司

立即詢價

您提交后,專屬客服將第一時間為您服務

什么是濺射靶材?

閱讀:2657      發布時間:2023-1-9
分享:

濺射靶材是制備半導體的核心材料之一。半導體制備過程中,在晶圓制造及芯片封裝兩大環節均需用到濺射靶材。在晶圓制造環節,濺射靶材主要用于制作晶圓導電層、阻擋層以及金屬柵極,通常要求靶材純度在5N (99.999%)以上,主要使用銅靶材、鋁靶材、欽靶材、鉅靶材等,在芯片封裝環節,濺射靶材主要用于貼片焊線的鍍膜,多使用銅靶材、鋁靶材、欽靶材等靶材。

半導體行業常會見到一個詞,靶材,那么靶材是什么? 為什么靶材如此重要?今天我們就來說說靶材是什么?靶材是什么?簡單地說,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,通過更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

目前,(純度)濺射靶材按照化學成分不同可分為

1) 金屬靶材(純金屬鋁、、銅、銀等)

2) 合金靶材(鎳鉻合金、鎳鉆合等)

3) 陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等).

按開關不同可分為:長靶、方靶、圓靶

按應用領域不同可分為:半導體芯片靶材、平面顯示器靶材、太陽能電池靶材、信息存儲靶材、具改性靶材、電子器件靶材、其他靶材。

看到這里,大家應該了解了高純濺射靶材,知道了金屬靶材的鋁、缽、銅、鉅,在半導體晶圓制造中,200mm(8寸)及以下晶圓制造通常以鋁制程為主,使用的靶材以鋁、達元素為主。300mm( 12寸)晶圓制造,多使用先進的銅互連技術,主要使用銅、鉅靶材。

image.png

濺射靶材是制備半導體的核心材料之一。半導體制備過程中,在晶圓制造及芯片封裝兩大環節均需用到濺射靶材。在晶圓制造環節,濺射靶材主要用于制作晶圓導電層、阻擋層以及金屬柵極,通常要求靶材純度在5N(99.999%)以上,主要使用銅靶材、鋁靶材、欽靶材、鉅靶材等,在芯片封裝環節,濺射靶材主要用于貼片焊線的鍍膜,多使用銅靶材、鋁靶材、鐵靶材等靶材。

image.png

半導體用濺射靶材

半導體芯片行業是金屬濺射靶材的主要應用領域之一,也是對靶材的成分、組織和性能要求最高的領域。具體來講,半導體芯片的制作過程可分為硅片制造、晶圓制造和芯片封裝等三大環節,其中,在晶圓制造和芯片封裝這兩個環節中都需要用到金屬濺射靶材。

半導體用濺射靶材

半導體芯片用金屬濺射靶材的作用,就是給芯片上制作傳遞信息的金屬導線。具體的濺射過程: 首先利用高速離

子流,在高真空條件下分別去轟擊不同種類的金屬濺射靶材的表面,使各種靶材表面的原子一層一層地沉積在半導體

芯片的表面上,然后再通過的特殊加工工藝,將沉積在芯片表面的金屬薄膜刻蝕成納米級別的金屬線,將芯片內部數

以億計的微型晶體管相互連接起來,從而起到傳遞信號的作用。


會員登錄

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
在線留言
主站蜘蛛池模板: 夏邑县| 海城市| 奇台县| 岑溪市| 老河口市| 徐水县| 拉萨市| 黄梅县| 东乡| 建水县| 天门市| 延安市| 广平县| 南汇区| 普陀区| 明星| 中西区| 自贡市| 获嘉县| 岑巩县| 清原| 兴仁县| 新营市| 罗甸县| 普格县| 乐山市| 和顺县| 水城县| 建德市| 通榆县| 东山县| 化隆| 河源市| 德令哈市| 蒲江县| 宝兴县| 新营市| 临沭县| 葵青区| 赣州市| 东乡县|