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| 整體位移精度 | 10um | 背電極 | 可以引出背電極 |
|---|---|---|---|
| 樣品固定方式 | 環形真空吸附 | 漏電精度 | 10pA |
| 顯微鏡放大倍數 | 7-200倍 | CCD相機 | 2000W |
| 顯示器 | HDMI高清顯示器22寸 |
產品簡介
詳細介紹
產品介紹
TLRB系列標準型基礎測試探針臺是我司根據高校科研及產業研發需要，而開發設計的一款高性價比探針臺系統，其功能齊全，滿足常規IV電學測試需要，廣泛應用于芯片、半導體材料/器件等光電相關領域。
產品優勢
. 結構緊湊，功能實用，高性價比;
. 最大可用于12寸以內樣品測試;
. 滿足1um以上電極/PAD使用;
. 兼容高倍率電子顯微鏡/體視顯微鏡，可360°旋轉及微調升降;
. 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內）;
. 精密絲桿/燕尾傳動機構，線性移動，無回程差設計;
. 模塊化設計，可據應用需要增減相應模塊，性價比高。
模塊介紹
通用參數
產品示意圖
選型表
相關附件
多種精度，多種夾具類型探針座
同軸線纜，三同軸線纜
各種類型探針
真空泵
電學測試夾具
電磁屏蔽箱
應用領域
半導體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產檢測、航空航天實驗等。
譜量光電可根據客戶實際應用需求，定制配套標準型基礎測試探針臺，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯系詳詢。