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普泰克（上海）制冷設(shè)備技術(shù)有限公司
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首頁(yè) >> 技術(shù)文章 >> 普泰克半導(dǎo)體冷卻一體機(jī)產(chǎn)品介紹
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工作原理：通常內(nèi)置溫度傳感器，實(shí)時(shí)采集環(huán)境溫度數(shù)據(jù)并傳輸至智能調(diào)節(jié)系統(tǒng)。當(dāng)溫度出現(xiàn)波動(dòng)，智能調(diào)節(jié)系統(tǒng)會(huì)根據(jù)預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)和實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，啟動(dòng)制冷或制熱模塊。制冷時(shí)，制冷壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)帶走熱量；制熱時(shí)，加熱元件升溫并散發(fā)到周圍環(huán)境1。
性能特點(diǎn)
寬溫域調(diào)控：不同型號(hào)的設(shè)備溫域范圍有所不同，如有的可在 - 110℃至 + 300℃、-45℃至 250℃或 - 60℃至 250℃等寬溫域內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速升降溫和動(dòng)態(tài)恒溫235。
高精度控溫：一般采用 PID 動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)等智能溫控算法，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)進(jìn)出料口溫度，控溫精度可達(dá) ±0.1℃，甚至更高2。
全密閉循環(huán)系統(tǒng)：導(dǎo)熱介質(zhì)（如硅油、乙二醇等）在封閉管路中循環(huán)，膨脹容器隔絕空氣，避免氧化和吸濕，可確保高溫?zé)o油霧、低溫不結(jié)露2。
高效熱交換設(shè)計(jì)：例如采用板式換熱器提升傳熱效率，減少介質(zhì)用量；盤管式加熱器可快速響應(yīng)溫度變化，升溫速率可達(dá) 10℃/min2。
多重安全保護(hù)：具備超溫報(bào)警、固態(tài)繼電器斷電保護(hù)、壓力傳感器聯(lián)動(dòng)停機(jī)、逆缺相保護(hù)、加熱異常警報(bào)、缺油警報(bào)等功能，確保設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行2。
應(yīng)用場(chǎng)景
晶圓制造：在光刻工藝中，維持光刻膠溫度穩(wěn)定，防止光學(xué)元件熱變形；在蝕刻工藝中，動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)反應(yīng)腔溫度，優(yōu)化刻蝕速率均勻性4。
封裝測(cè)試：在探針臺(tái)測(cè)試時(shí)，保持晶圓測(cè)試環(huán)境恒溫，提升電性參數(shù)一致性；在芯片老化環(huán)節(jié)，模擬高溫 / 低溫環(huán)境，驗(yàn)證芯片長(zhǎng)期可靠性4。
優(yōu)勢(shì)
提高生產(chǎn)質(zhì)量：精準(zhǔn)的溫度控制可有效避免因溫度不穩(wěn)定而導(dǎo)致的芯片缺陷，提升芯片良品率，例如在光刻、蝕刻等核心工序中，能將溫度波動(dòng)控制在極小范圍內(nèi)，確保晶圓微觀結(jié)構(gòu)不受影響3。
提升生產(chǎn)效率：快速的升降溫能力和穩(wěn)定的溫度控制，有助于縮短工藝時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，如在不同工序間快速切換溫度，滿足工藝的連續(xù)性與穩(wěn)定性需求3。
降低維護(hù)成本：一些設(shè)備采用創(chuàng)新的模塊化設(shè)計(jì)，便于維護(hù)與擴(kuò)展。出現(xiàn)故障時(shí)，技術(shù)人員可快速定位并更換相應(yīng)模塊，縮短維護(hù)時(shí)間和成本
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