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日本ULVAC愛發科 真空隔斷 羅茨泵PMB系列Ver.D是通用型羅茨泵。可以選擇表面處理或大氣壓驅動型，可以在空冷下運轉。

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日本ULVAC愛發科 空冷式干泵 氣鎮壓機構干泵CR系列VerB是獲得國際標準（CE,cTUVus）的空冷式羅茨型干泵。排氣室內不使用真空油，因轉子和汽缸是不接...

日本ULVAC愛發科 空冷式干泵 三相電源干泵CR系列VerB是獲得國際標準（CE,cTUVus）的空冷式羅茨型干泵。排氣室內不使用真空油，因轉子和汽缸是不接觸...

日本ULVAC愛發科 空冷式干泵 穩定排氣干泵CR系列VerB是獲得國際標準（CE,cTUVus）的空冷式羅茨型干泵。排氣室內不使用真空油，因轉子和汽缸是不接觸...

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日本ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 真空干燥通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款...

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日本ULVAC愛發科 真空泵 高負荷領域通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

日本ULVAC愛發科 高硬度表皮 干式真空泵通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵...

日本ULVAC愛發科 下料室排氣用 干式真空泵通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款...

日本ULVAC愛發科 成膜裝置用 干式真空泵通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵...

日本ULVAC愛發科 輔助排氣泵 干式真空泵通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵...

日本ULVAC愛發科 短排氣時間 干式真空泵通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵...

日本ULVAC愛發科 干式真空泵 灰化裝置用通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

日本ULVAC愛發科 干式真空泵 蝕刻裝置用通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

日本ULVAC愛發科 干式真空泵 CVD裝置用通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

日本ULVAC愛發科 干式真空泵 安全密閉結構通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。