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為了制造高質(zhì)量的產(chǎn)品，需要選擇最佳的UV光源和UV照射設(shè)備來對光刻膠進(jìn)行曝光。
輻照均勻度和功率
曝光光刻膠時，選擇能夠提供最均勻光線的紫外光源非常重要。光均勻性差會導(dǎo)致光刻膠圖案形成不均勻。
另外，關(guān)于光輸出，需要選擇高輸出的紫外光源。如果產(chǎn)量高，處理速度會較快，但如果產(chǎn)量低，處理時間會較長，這會極大地影響最終的吞吐量（生產(chǎn)數(shù)量）。另一方面，如果輸出太高，可能會出現(xiàn)光刻膠起泡等問題。
因此，在選擇紫外光源時，需要選擇波長適合光刻膠的光源、能夠照射均勻光線的光源以及能夠調(diào)節(jié)到最佳輸出的光源。
能源效率和成本
能源效率必須從兩個角度考慮：運(yùn)行成本和環(huán)境影響。
高效的紫外線光源極大地有助于降低能耗和運(yùn)行成本。另外，在考慮成本時，需要同時考慮UV光源的初始安裝成本和運(yùn)行成本。盡管高性能光源的初始安裝成本往往較高，但考慮到長期運(yùn)營成本，它可能是經(jīng)濟(jì)的。
選擇UV光源時，重要的是要考慮能耗、運(yùn)行成本、維護(hù)成本等，綜合做出決定。
