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| 機 型 | TOSMICRON-S4090IN | TOSMICRON-S4130IN | TOSMICRON-S5110IN | TOSMICRON-S6160IN |
| X射線發生器 | 密封管型 | 開放管型 | ||
| X射線輸出 | zui大90kV zui大200uA | zui大130kV zui大200uA | zui大110kV zui大200uA | zui大160kV zui大200uA |
| 焦 點 尺 寸 | zui小5um | zui小3um | zui小1um | |
| X射線檢測器 | 4/2英寸 I.I. | |||
| zui大放大率 | 約225倍 | 約180倍 | 約525倍 | 約3900倍 |
| 機 械 部 分 | 4軸垂直型 | 5軸傾斜型 | 6軸傾斜旋轉型 | |
| 試 料 臺 | 410×360mm(標準） 600×350mm(大型) | 410×360mm(標準） 600×350mm(大型) | 300×300mm | |
| 用 途 | IC、各種電子部件、組裝基板等 | 高密度組裝基板、各種電子部件等 | ||
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