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SUMITOMO/住友 CP系列低溫泵
Sumitomo住友（SHI）公司出品。
Marathon CP系列低溫泵具有標準外型、超薄外型、手動功能、自動功能、不同類型法蘭接口等選項供用戶選擇，并且可以在不破壞真空度或不將低溫泵從真空腔內移出的情況下進行現場維護，延長使用壽命。抽速從1500L/S-9700L/S。
技術特點：
l 多種接口安裝方式可選
l 結合Marathon® 低溫泵控制器可實現全自動再生控制
l 采用Displex® 氣動技術
l 自帶設定點繼電器
l 可就地維修無需破壞真空
典型應用：
l 物理氣相沉積 （PVD）
l 離子注入
l 化學氣相沉積 （CVD）
l 分子束外延
l 其他/實驗室低溫恒溫器
l 加速器
l 真空爐
l 薄膜沉積
技術參數：
| CP-8 | CP-8LP | CP-250LP | CP-12 | CP-16 | CP-20 | |
空氣 (升/秒) | 1,500 | 1,800 | 3,000 | 3,600 | 4,800 | 9,700 | |
水蒸氣 (升/秒) | 4,200 | 4,200 | 6,300 | 9,560 | 17,300 | 29,100 | |
氬氣 (升/秒) | 1,250 | 1,500 | 2,500 | 3,100 | 4,100 | 8,300 | |
氫氣 (升/秒) | 2,300 | 3,000 | 5,000 | 7,300 | 12,000 | 14,000 | |
氬氣吞吐量 (托-升/秒) | 11.0 | 11.0 | 11.0 | 12.6 | 11.4 | 11.3 | |
氬氣吸附能力 (標升) | 1,200 | 1,600 | 1,600 | 3,100 | 5,500 | 6,000 | |
氫氣吸附能力 (標升) | 25 | 23 | 30 | 50 | 50 | 33 | |
Crossover Rating (托升) | 220 | 220 | 300 | 650 | 500 | 400 | |
重量 | 35 lbs. (16.8 kg) | 39.5 lbs. (17.9 kg) | 44 lbs. (20 kg) | 90 lbs. (41 kg) | 110 lbs. (50 kg) | 170 lbs. (77 kg) | |
壓縮機選型 | Zephyr壓縮機 | • | • | • |
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HC-4E1壓縮機 | • | • | • |
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HC-8E4壓縮機 | • | • | • | • | • |
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F-70壓縮機 | • | • | • | • | • | • | |
Marathon CP系列低溫泵
尺寸圖
以：CP-250LP為例，更多型號尺寸圖請于域勢科技技術工程師聯系。
訂貨選型
| CP-8 | CP-8LP | CP-250LP | CP-12 | CP-16 | CP-20 |
空氣 (升/秒) | 1,500 | 1,800 | 3,000 | 3,600 | 4,800 | 9,700 |
水蒸氣 (升/秒) | 4,200 | 4,200 | 6,300 | 9,560 | 17,300 | 29,100 |
氬氣 (升/秒) | 1,250 | 1,500 | 2,500 | 3,100 | 4,100 | 8,300 |
氫氣 (升/秒) | 2,300 | 3,000 | 5,000 | 7,300 | 12,000 | 14,000 |
氬氣吞吐量 (托-升/秒) | 11.0 | 11.0 | 11.0 | 12.6 | 11.4 | 11.3 |
氬氣吸附能力 (標升) | 1,200 | 1,600 | 1,600 | 3,100 | 5,500 | 6,000 |
氫氣吸附能力 (標升) | 25 | 23 | 30 | 50 | 50 | 33 |
Crossover Rating (托升) | 220 | 220 | 300 | 650 | 500 | 400 |
壓縮機型號：
低溫泵配件
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