目錄:深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司>>輪廓/膜厚測量>>光學(xué)輪廓儀>> Zeta-20三維光學(xué)輪廓儀
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 50萬-100萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
| ZSI模式分辨率： | 0.5? | 最小臺階： | 0.1nm |
多模組三維光學(xué)輪廓儀Zeta-20標(biāo)配ZDot技術(shù)，可選裝多模式光學(xué)系統(tǒng)。強(qiáng)大的成像測量功能，使其能夠?qū)Ω鞣N樣品進(jìn)行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理等。
1.納米及微米級臺階測量
2.粗糙度分析
3.薄膜厚度測量
4.三維輪廓測量
5.全表面缺陷測量及分類
6.特征圖形全自動(dòng)偵測與表征
7.高深寬比表面輪廓成像
True color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像
多模組三維光學(xué)輪廓儀模式選擇
| 適用范圍 | ZDOT | ZI | ZIC | ZSI | ZFT |
| 粗糙度＞40nm | √ | ||||
| 粗糙度＜40nm | √ | ||||
| 大視場、Z軸高分辨 | √ | ||||
| 15nm～25mm臺階 | √ | ||||
| 5nm～100μm臺階 | √ | ||||
| ＜10nm臺階 | √ | ||||
| 30nm＜膜厚＜75μm | √ | ||||
| 膜厚＞75μm | √ |
基礎(chǔ)模塊
| 橫向準(zhǔn)確度＜1% | 彩色CCD：2/3”，2448×2048 |
| 水平分辨率：54nm | 可測高度：40mm |
| Z軸分辨率：13nm/2nm | 光源：高亮度LED |
| 自動(dòng)XY載臺150×150mm | 樣品反射率：0.5%~100 |
測試系統(tǒng)選項(xiàng)
1.標(biāo)準(zhǔn)物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150×
2.特殊物鏡：長工作距離，浸沒物鏡，TTM物鏡
3.ZI、ZIC、ZFT、ZSI（0.5Å分辨率，0.1nm臺階高度測試）
載臺與卡盤選項(xiàng)
1.手動(dòng)100mm×100mm或300mm×300mm載臺
2.自動(dòng)150mm×150mm或180mmx200mm載臺
3.壓電陶瓷載臺（2nm閉環(huán)精度，200µm工作距離）
4.高精度傾斜載臺
5.手動(dòng)旋轉(zhuǎn)載臺
6.卡盤：2"-6"、65mm-95mm、背光卡盤等，可定制
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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