PID光離子化傳感器由以下幾部分組成：紫外線燈管、電極板、集電極、放大器和數據處理單元。其中，紫外線燈管是PID光離子化傳感器的核心部件，它能夠發出波長為10.6eV的紫外線輻射，使空氣中的揮發性有機物分子被電離產生正負離子對。當紫外線輻射照射到空氣中的揮發性有機物分子時，會使得這些分子失去一個或多個電子而形成帶正電荷或帶負電荷的離子。當帶電荷的離子與電極板或集電極上的帶相反電荷的粒子碰撞時，就會產生一定大小的電流信號。PID光離子化傳感器輸出的信號經過數據處理單元進行處理后，可以得到一個數字化結果
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